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电子半导体行业高精度洁净室设计指南

作者: 编辑: 来源: 发布日期: 2025.03.19
信息摘要:
电子半导体行业高精度洁净室设计指南
高精度洁净室设计的一些指南:

设计前期准备

合盛百级1
  • 明确工艺需求:与使用方深入沟通,详细了解生产工艺、产品类型、生产设备等对洁净室环境的具体要求,如空气洁净度等级、温湿度范围、压差要求等。
  • 收集基础资料:包括建设场地的地质、气象、周边环境等资料,以及建筑的结构形式、荷载能力、水电供应等信息。

平面布局设计


  • 工艺流程顺畅:按照生产工艺流程,合理规划各个功能区域的位置,使人员、物料的流动路线短捷,避免交叉污染。例如,将原材料入口、生产区、成品出口等依次布局,减少迂回和往返。
  • 分区明确:划分洁净区、准洁净区和非洁净区,不同区域之间设置缓冲间或气闸室,以防止洁净区受到污染。同时,根据生产操作的不同要求,进一步细分功能房间,如更衣室、风淋室、操作室、设备间等。
  • 便于维护管理:考虑设备的安装、检修通道,以及清洁、消毒设备的通行空间,确保日常维护和管理工作能够顺利进行。

空气净化系统设计


  • 过滤器选择:根据洁净室的等级要求,选用合适的过滤器组合。通常包括初效、中效和高效过滤器,对于高精度洁净室,可能还需要配置超高效过滤器,以确保空气中的尘埃粒子被有效过滤。
  • 气流组织设计:采用合理的气流组织形式,如单向流、乱流或混合流。单向流洁净室能提供更均匀、稳定的气流,有效控制尘埃粒子的扩散,但成本较高;乱流洁净室则适用于一些对洁净度要求相对较低的区域。同时,合理设计送风口和回风口的位置和数量,确保室内气流均匀,避免出现气流死角。
  • 压差控制:通过调节送风量和回风量,使洁净室与相邻区域保持一定的压差,防止外界污染空气进入洁净室。一般高精度洁净室相对于相邻的非洁净区或准洁净区,压差应保持在 5 - 10Pa 以上。

空调系统设计


  • 冷热源选择:根据洁净室的规模、使用时间、能源供应等因素,选择合适的冷热源设备,如冷水机组、热泵、锅炉等。同时,考虑采用节能型设备和技术,降低运行成本。
  • 温湿度控制:配备高精度的温湿度传感器和控制系统,确保洁净室内的温度和湿度稳定在规定范围内。对于一些对温湿度要求严格的高精度洁净室,温度控制精度可能要求达到 ±1℃,湿度控制精度达到 ±5% RH 以内。

建筑装修设计


  • 墙面和天花板:选用不易产生粉尘、细菌,且耐清洗、耐腐蚀的材料,如彩钢板、不锈钢板、防静电瓷砖等。墙面和天花板应平整光滑,阴阳角采用圆弧过渡,减少积尘和便于清洁。
  • 地面:采用耐磨、防滑、易清洁的地面材料,如环氧树脂地坪、PVC 地板等。地面应具有良好的防静电性能,以防止静电对产品和设备造成损害。同时,设置地漏和地沟时,要注意密封和防臭,避免污染扩散。
  • 门窗:门窗应具有良好的密封性,采用气密门和双层玻璃窗户,以防止外界空气和尘埃进入洁净室。门窗的开启方式应方便人员和物料通行,且不影响室内气流组织。

  • 盛剑百级6

照明系统设计


  • 光源选择:采用高效节能、无眩光的灯具,如 LED 灯具。灯具应具有良好的防尘、防潮性能,便于清洁和维护。
  • 照度要求:根据不同的功能区域和操作要求,提供足够的照度。一般生产操作区域的照度应达到 300 - 500lx,检验和精密操作区域的照度可适当提高到 500 - 1000lx。同时,设置应急照明系统,以应对突发停电情况。

人员和物料净化设施设计


  • 人员净化:设置人员净化用室,包括更衣室、缓冲室、风淋室等。人员进入洁净室前,应更换洁净工作服、鞋套,经过风淋室吹淋,去除身上的尘埃粒子。
  • 物料净化:设置物料传递窗、货淋室等设施,对进入洁净室的物料进行净化处理,防止将外界污染物带入洁净室。物料传递窗应具有良好的密封性,两侧门不能同时开启。

安全与消防设计


  • 消防设施:按照相关规范设置消防栓、灭火器、自动喷水灭火系统、火灾报警系统等消防设施。洁净室内的消防设施应采用洁净型产品,避免对洁净环境造成污染。
  • 安全疏散:合理设置安全出口和疏散通道,确保人员在紧急情况下能够迅速撤离。安全出口应分散布置,疏散距离应符合相关规范要求,疏散通道应保持畅通无阻,设置明显的疏散指示标志和应急照明灯具。

设计审核与验证


  • 设计审核:在设计完成后,组织相关专家和使用方对设计方案进行审核,确保设计符合工艺要求、相关规范和标准,以及项目的投资预算。
  • 施工过程监督:在施工过程中,安排专业人员进行现场监督,确保施工质量符合设计要求。对关键施工环节和隐蔽工程进行验收,如风管的安装、过滤器的安装、地面和墙面的密封处理等。
  • 竣工验证:施工完成后,进行全面的竣工验证,包括空气洁净度测试、温湿度测试、压差测试、气流组织测试、噪声测试等,确保洁净室的各项性能指标达到设计要求。同时,对消防设施、安全疏散等进行验收,确保符合相关安全规范。

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