无尘室是污染控制的基础，是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在无尘室极高的硅晶片制造链中，必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间，硅晶片零件才能够正常批量生产。
我国的无尘室发展起步与国外相比较晚，近二十年来，随着越来越多外企在国内开办或合资开办企业，一些高新技术对生产环境的要求提高，为了提升竞争力，各个行业也开始追求无尘室的质量。
正确、合理的设计是保证无尘室稳定运行的前提，在实际使用中，不正确的维护操作和不规范的管理都会使无尘室的空气洁净度降低，造成无尘室指标达不到要求。因此，正确科学地进行无尘室维护和管理非常重要，并且这要从各方面来完善。
人员控制
经测试分析，无尘室的微污染中80%是工作人员带来的。当工作人员进出无尘室时尘埃有显著增加，洁净度立刻劣化。因此在工作人员进入无尘室前要做好清洁擦拭等防尘动作，且企业也要对工作人员进行培训，并制定相应的章程和制度等。
物品管理
工作人员会带入尘埃，那么所有的物料及设备也会影响无尘室的清洁。在物流和设备进入时，要做到不将任何微粒或微生物带入室内。工作人员要在无尘室内穿着洁净衣服，用无尘纸擦拭物料和设备。搬运时也要为地板铺上已经清洁过的不锈钢板，防止破坏地板。
定期检查
对于无尘室中的各种设备，在无尘进入室内后，也要时常清洁灭菌，并且定期进行检查，防止无尘室内尘粒和微生物的产生、繁衍和滞留。
系统构建和维护
除了防止微尘进入，无尘室也要设置净化空调系统、水电系统、生产工艺设备等各类设备设施，来确保无尘室内的空气洁净度级别使用符合产品生产工艺的要求。在系统正常运行中，维护也是必不可少的。比如，空气过滤器是否疏通正常、密封垫是否牢固、送风机轴承的运行是否处于正常状态等。每一项都影响了系统的运行，因此不可遗漏。
如今的无尘室，为满足各类产业的需求，大多会选择“量身定制”。要尽可能地建造一套完善的系统，防止后续出现问题影响无尘室的使用，且会浪费时间和金钱。很多对这方面缺乏重要性认识的企业，后来都后悔不已，然而为时已晚。
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